電子ビーム露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-047522
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263300
出願日： 1994年03月17日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】本発明はイマージョンレンズを用いた電子ビーム露光装置に関し、渦電流による電子ビーム露光精度の低下を防止できると共に信頼性及び低コスト性を向上することを目的とする。【構成】被露光物を連続的に移動可能な構成とされたステージと、被露光物の上部に配設された第1の対物レンズ12と被露光物26の下部に配設された第2の対物レンズ14とにより構成され上記被露光物上に磁場を漏らすように構成されたイマージョンレンズ16とを具備する電子ビーム露光装置において、被露光物と第1の対物レンズとの間隙内に高透磁率で導電体よりなるシールド板30を配設する。このシールド板は、電子ビームが通過する位置に開口部32が形成されると共に、この開口部形成位置以外の位置を電磁的に遮蔽する構成とする。

請求項（抜粋）：

電子ビームを放射する電子放出手段(2)と、該電子放出手段(2)から放射された該電子ビームを偏向させて被露光物(26)上の所定位置に照射する偏向手段(4〜22)と、該被露光物(26)を搭載し、少なくとも所定の一移動方向に該被露光物(26)を連続的に移動可能な構成とされたステージ(24)と、該偏向手段(4〜22)の一部を構成するものであり、該被露光物(26)の上部に配設された第1の対物レンズ(12)と、該被露光物(26)の下部に配設された第2の対物レンズ(14)とにより構成されており、該第1及び第2の対物レンズ(12,14)が協働して該被露光物上に磁場を漏らすように構成されたイマージョンレンズ(16)とを具備する電子ビーム露光装置において、該被露光物(26)と第1の対物レンズ(12)との間隙内に、該電子ビームが通過する位置に開口部(32)を形成すると共に、該開口部形成位置以外の位置を電磁的に遮蔽する高透磁率材料よりなるシールド板(30)を配設し、かつ、該シールド板(30)を該第1の対物レンズ(12)に対して固定した構成としてなることを特徴とする電子ビーム露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 504 , G03F 7/20 521 , H01J 37/09

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