特許

J-GLOBAL ID：200903058062476471

研磨機の研磨剤供給装置

発明者： 河合 孝昭
出願人/特許権者： 大同特殊鋼株式会社
代理人 (1件)： 守田 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-017809
公開番号（公開出願番号）：特開2000-218535
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：

【要約】【課題】 粗研磨と仕上げ研磨の切替えを簡易かつ迅速に行なう。【解決手段】 研磨機1の研磨部に研磨液を供給する研磨液供給管2と、研磨機1の研磨部に洗浄水を供給する洗浄水供給管3と、研磨液供給管2に各タンク6,7から粗研磨剤と仕上げ研磨剤を選択的に送出する電磁切替弁4Aと、洗浄水供給管3にタンク8から洗浄水を送出する電磁切替弁4Bとを備えている。

請求項（抜粋）：

研磨機の研磨部に研磨剤を供給する研磨剤供給路と、前記研磨機の研磨部に洗浄水を供給する洗浄水供給路と、前記研磨剤供給路に粗研磨剤と仕上げ研磨剤を選択的に送出する研磨剤送出手段と、前記洗浄水供給路に洗浄水を送出する洗浄水送出手段とを具備する研磨機の研磨剤供給装置。

IPC (6件)：

B24B 57/02 ,  B24B 37/00 ,  B24B 55/12 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 648

FI (6件)：

B24B 57/02 ,  B24B 37/00 K ,  B24B 55/12 ,  H01L 21/304 622 E ,  H01L 21/304 622 Q ,  H01L 21/304 648 G

Fターム (7件)：

3C047FF19 ,  3C047GG18 ,  3C047GG20 ,  3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CA06 ,  3C058DA02