特許
J-GLOBAL ID：200903058068716717
電子源、表示パネル、および画像形成装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-297681
公開番号（公開出願番号）：特開平11-120903
出願日： 1997年10月15日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 電子源、表示パネルおよび画像形成装置の製造方法において、大面積にわたって電子放出素子を容易にかつ低コストで形成できるようにする。電子放出素子の形成位置を補正できるようにする。導電性薄膜の抵抗値を精度良く形成できるようにする。【解決手段】 (1)基体上に、素子電極とアライメント用部材、および複数の付与量調整用部材とを同じ手法で形成する工程と、(2)アライメント用部材に液滴付与装置により液滴を付与し、該液滴付与装置と、基体の位置を調整する工程と、(3)複数の付与量調整用部材に液滴付与装置により液滴を付与し、その吸収量を推定し、統計的処理を行って吸収量の代表値を求める工程と、(4)吸収量の代表値を用いて、導電性薄膜を形成する部分に付与する液滴量を定め、定められた量の液滴を導電性薄膜を形成する部分に付与する工程とを有することを特徴とする電子源の製造方法。
請求項（抜粋）：
一対の対向する素子電極と、該素子電極に接続し、電子放出部を含む導電性薄膜を有する電子放出素子を、基体上に複数有してなる電子源の製造方法であって、該導電性薄膜の材料を含む溶液を、液滴付与装置により所定の位置に付与するステップを含む上記導電性薄膜の形成工程が、(1)基体上に、素子電極とアライメント用部材、および複数の付与量調整用部材とを同じ手法で形成する工程と、(2)上記アライメント用部材に上記液滴付与装置により液滴を付与し、該液滴付与装置と、上記基体の位置を調整する工程と、(3)上記複数の付与量調整用部材に上記液滴付与装置により液滴を付与し、その吸収量を推定し、統計的処理を行って吸収量の代表値を求める工程と、(4)上記吸収量の代表値を用いて、導電性薄膜を形成する部分に付与する液滴量を定め、定められた量の液滴を上記導電性薄膜を形成する部分に付与する工程と、を有することを特徴とする電子源の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 E
, H01J 31/12 C
