特許

J-GLOBAL ID：200903058072277760

透明板状体の品質検査装置

発明者： 折戸 泰樹
出願人/特許権者： 株式会社東海理化電機製作所
代理人 (1件)： 中島 淳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-102404
公開番号（公開出願番号）：特開平8-297096
出願日： 1995年04月26日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：

【要約】【目的】 被検査透明板状体の歪みや傷等の欠陥部の投影像の輪郭を明確にすると共に、撮影手段で撮影する場合にも撮影画像上で欠陥部の投影像の輪郭及び寸法に変化が生じ難くし測定精度を向上する。【構成】 透明板状体の品質検査装置10では、透明板ガラス12のガラス面垂直方向に、透明板ガラス12に平行光線を投光する光源14が配設されている。透明板ガラス12を挟んで光源14と反対側には、透明板ガラス12を通る光を投影するスク-ン16が配設されており、このスク-ン16は半透明の膜で構成されている。スク-ン16を挟んで透明板ガラス12と反対側にはカメラ18が配設されており、スク-ン16に投影される透明板ガラス12の歪みや傷等の欠陥部12Aを撮影するようになっている。

請求項（抜粋）：

被検査透明板状体に平行光線を投光する光源と、前記被検査透明板状体を挟んで前記光源と反対側に配置され前記被検査透明板状体を通った光を投影するための半透明の膜から成るスクリーンと、を有することを特徴とする透明板状体の品質検査装置。