デカップリング容量測定機能付きプログラム電源装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-244566
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064410
出願日： 1997年08月26日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【課題】デカップリングコンデンサの容量値と接続の確認を容易に短時間で行い得るデカップリング容量測定機能付きプログラム電源装置を提供すること。【解決手段】デカップリングコンデンサ9Aの容量値測定時に接続回路10Cをオンにして、メインアンプ3の入力端からフォースライン出力端6Aをバイパスし、演算増幅器2Aの出力とメインアンプ3との間に定電流回路13A・13Bにより互いに逆方向にダイオード14A〜14Dからなるダイオードブリッジを介してフォースラインに定電流を流して、フォースラインをチャージしてメインアンプ3の入力端の電圧を設定電圧になるまで上昇または下降させる。メインアンプ3の入力端の電圧が設定電圧になるまでの間、電圧サンプリング回路15によりサンプリングして、時間を測定する。

請求項（抜粋）：

プログラムされた設定電圧をアナログ値に変換するD/A変換器(1) と、前記D/A変換器(1) の出力を入力し、前記D/A変換器(1) の出力を前記設定電圧まで増幅するメインアンプ(3) へ伝達する演算増幅器(2A)と、フォ-スラインに流れる電流を測定する電流測定回路(5) と、被測定試料(11)からのセンスラインを介して前記メインアンプ(3) へフィ-ドバックする演算増幅器(2B)と、前記電流測定回路(5) の出力側のフォ-スラインから前記被測定試料(11)までの間に接続されたフォ-スライン・ケ-ブル(7) の出口から前記被測定試料(11)までの経路途中と接地間に直列接続した少なくとも1組の接続回路(10)とデカップリングコンデンサ(9A)と、前記被測定試料(11)から前記演算増幅器(2B)の入力側のセンスライン間に接続されたセンスライン・ケ-ブル(8) と、前記演算増幅器(2A)と前記メインアンプ(3) との間に設けられ、定電流が前記電流測定回路(5) の出力側のフォ-スラインの容量をチャ-ジし、設定値までフォ-ス電圧を上昇させる過渡応答を実現するダイオ-ド(14A) 〜(14D) によるダイオ-ドブリッジと、前記ダイオ-ドブリッジを介し、接地点まで正方向に正電源(12A) により定電流を流す定電流回路(13A) と、前記接地点から前記ダイオ-ドブリッジを介し、負電源(12B) により負方向に定電流を流す定電流回路(13B) と、前記メインアンプ(3) の入力端の電圧を逐次サンプリングし、初期値から設定電圧値に至るまでの時間を測定する電圧サンプリング回路(15)と、容量測定時に、前記メインアンプ(3) の入力端からフォ-スライン出力点(6A)間をバイパスするための接続回路(10C) とを備えることを特徴とするデカップリング容量測定機能付きプログラム電源装置。

IPC (3件)：

G01R 27/26 , G01R 31/26 , G01R 31/28

FI (3件)：

G01R 27/26 C , G01R 31/26 Z , G01R 31/28 H

前のページに戻る