特許

J-GLOBAL ID：200903058073983995

基板加圧装置と加圧方法及びそれを用いた基板貼り合わせ装置と基板貼り合わせ方法

発明者： 高林 弘徳 ,  柴 岳人
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-111960
公開番号（公開出願番号）：特開2000-305059
出願日： 1999年04月20日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】 2枚のガラス基板を高精度に貼り合わせて均一なギャップ形成を実現することのできる、構成が簡単かつ廉価な液晶セルの加圧装置とその方法及びそれを用いた貼り合わせ方法および装置。【解決手段】 2枚のガラス基板5、6を真空状態にして大気圧で加圧するときに、保護枠11により2枚のガラス基板5、6の側面への気密シート15の接触を防止し、ガラス基板5、6の横方向へのずれを解消する。

請求項（抜粋）：

予め所定の位置関係で隙間を介してシール剤によって仮固定されてステージ上に載置されている複数枚の基板を加圧手段で加圧して所定の隙間に形成する基板加圧装置において、前記ステージは、載置した前記基板の外周側に隙間を介して設けた保護枠を具備し、また、前記加圧手段は載置した前記基板及び前記保護枠を覆う大きさの気密シートとこの気密シートを移動させる移動手段を具備していることを特徴とする基板加圧装置。

IPC (2件)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1339 505

FI (2件)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1339 505

Fターム (8件)：

2H088EA02 ,  2H088FA01 ,  2H088FA10 ,  2H088MA20 ,  2H089NA24 ,  2H089NA49 ,  2H089NA60 ,  2H089QA12