特許

J-GLOBAL ID：200903058083223921

位置検出装置

発明者： 松本 隆宏 ,  野瀬 哲志 ,  吉井 実 ,  斉藤 謙治 ,  千徳 孝一 ,  長谷川 雅宣
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-276953
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090126
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】【目的】 格子線を斜め方向に配した回折格子により2方向の位置ずれを検出する。【構成】 周波数が異なる2つの光束を出射するゼーマンレーザー光源30の出力は偏光ビームスプリッタ31により偏光方向に従って二岐され、それぞれミラー32、33を経てマスク34上に設けられた格子線を斜め方向に設けた直線回折格子35、ウエハ36上に設けられた同様の直線回折格子37を照射する。また、回折格子35、37からの回折光はミラー38、39を経て偏光ビームスプリッタ40に集光され、更にグラントムソンプリズム41を経てエッジミラー42により、偏光方向に従ってそれぞれ光検出器43、44に入射し、それぞれ光ビート信号が得られる。これらの光ビート信号は位相差計45に入力され、位相差によって回折格子35、37のずれが検出される。

請求項（抜粋）：

物体面内の所定方向に配列された回折格子に対し、該所定方向とは異なる前記面内の第1の方向を含む入射面を有するように前記回折格子にビート信号形成用の第1光束組を入射すると共に前記所定及び第1の方向とは異なる前記面内の第2の方向を含む入射面を有するように前記回折格子にビート信号形成用の第2光束組を入射する照明系と、前記第1光束組による前記回折格子からの回折光を検出して第1のビート信号を形成すると共に前記第2光束組による前記回折格子からの回折光を検出して第2のビート信号を形成する検出系と、前記第1のビート信号の位相状態から前記回折格子の前記第1の方向に沿った位置情報を検出すると共に前記第2のビート信号の位相状態から前記回折格子の前記第2の方向に沿った位置情報を検出する処理系とを有することを特徴とする位置検出装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00