材料を電気化学的に加工するための方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-592099
公開番号（公開出願番号）：特表2002-534277
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2002年10月15日
要約：

【要約】この発明は、互いから距離をあけて電解質中に配置される、ワークピースとワークピース電極(62)との間に脈動または交流電圧が印加される、ワークピース(61)を電気化学的に加工するための方法に関する。距離範囲は、印加される脈動電圧およびこの平均値に対して測定される電圧振幅の平均値を正確に寸法決めすることによって規定される。所望の電気化学的反応をもたらすのに十分な、ワークピース上の二重層電荷逆転は、前記距離範囲内で結果的に生じ、距離をさらにあけて位置付けられたワークピース区域は十分な二重層電荷逆転を経験しない。ワークピースとワークピース電極との間の空間の寸法は、加工されるべきワークピースの区域の点のみが前記距離範囲内にあるように合わせられる。その結果、最小の3次元構造の作製の間に、これまで得られなかった空間的分解能を達成することができる。

請求項（抜粋）：

所望の電気化学反応によりワークピースを加工するための方法であって、加工されるべき区域を含むワークピースの少なくともその部分は、工具電極から距離をあけて電解質中にワークピース電極として配置され、脈動または交流電圧はこれら2つの電極間に印加され、印加された電圧の時間平均は、認め得るほどの反応電流が流れないシステム特徴曲線の範囲内の値を有し、印加された電圧の、この平均値に対して測定された偏位は、少なくともワークピースと、選択された最大距離dmaxよりも工具電極から遠くない区域のみとにある電気化学的二重層が2つの荷電電圧の間で周期的に電荷逆転されるように、それらの振幅、それらのそれぞれの持続時間およびそれらの周波数において寸法決めされ、2つの荷電電圧のうち少なくとも1つは、所望の反応をもたらすのに十分であり、 2つの電極間の空間の形状は、加工されるべき区域の点のみが前記最大距離dmax内にあるように寸法決めされることを特徴とする、方法。

Fターム (9件)：

3C059AA02 , 3C059AB01 , 3C059BB00 , 3C059CC01 , 3C059CD04 , 3C059CG03 , 3C059CG04 , 3C059CG07 , 3C059EA10

引用特許：

審査官引用 (4件)

特許第4148993号
特開平3-043119
特開平4-008424

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