特許
J-GLOBAL ID：200903058101127854
クリーンルーム用汚染物質モニタリング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-127597
公開番号（公開出願番号）：特開平6-341679
出願日： 1993年05月28日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】 クリーンルーム内の汚染度をより正確に、かつ、より短時間で容易にモニタリングするために、効率よく、しかも、人為的な汚染の影響を受けず環境中の汚染物質をを捕集することができるクリーンルーム用汚染物質モニタリング装置を提供する。【構成】 汚染物質を捕集する捕集用プレートを設置する設置空間を内部に有する外囲部と、設置空間に設置された捕集用プレートに外部空気を集中的に衝突させる吸引ノズルと、外部空気を吸引ノズルに吸引させるための排気口と、捕集用プレートを所定の電位に保つための直流電圧印加装置の印加電圧を導入する電位設定端子と、吸引ノズルを塞ぐための移動用汚染防止キャップと、排気口を塞ぐための移動用汚染防止キャップとを備える。
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内に設置され、クリーンルーム内の汚染物質を捕集するクリーンルーム用汚染物質モニタリング装置において、汚染物質を捕集する捕集用プレートを設置する設置空間を内部に有する外囲部と、前記捕集用プレートに外部空気を集中的に衝突させる吸引ノズルと、外部空気を吸引ノズルに吸引させるための排気口と、前記捕集用プレートを所定の電位に保つ電位設定部と、前記吸引ノズルおよび前記排気口を塞ぐ各汚染防止キャップとを備えたことを特徴とするクリーンルーム用汚染物質モニタリング装置。
IPC (5件)：
F24F 3/16
, B03C 3/02
, G01N 1/02
, G01N 15/00
, G01N 15/02
