特許

J-GLOBAL ID：200903058103694489

電子放出素子の検査装置及び検査方法

発明者： 西馬 聡
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-045085
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243287
出願日： 1999年02月23日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】 表示装置である電子源パネルを封着する前に、表示装置に備えている各電子放出素子からの放出電流を検出し、電子放出素子の電子放出特性を検査する検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】 基板にマトリックス状に配置した電子放出素子の電子放出特性の検査装置において、表示装置を封着により形成する前に、前記基板を搭載するチャンバーと、前記チャンバーの内部の空気を排気する排気手段と、前記電子放出素子に電圧を印加する印加手段と、前記電子放出素子から放出される電子を検出する検出手段と、前記電子放出特性の良否を判断する判断手段とを有している。

請求項（抜粋）：

基板にマトリックス状に配置した電子放出素子の電子放出特性の検査装置において、前記基板を搭載するチャンバーと、前記チャンバーの内部の空気を排気する排気手段と、前記電子放出素子に電圧を印加する印加手段と、前記電子放出素子から放出される電子を検出する検出手段と、前記電子放出特性の良否を判断する判断手段とを有し、表示装置を封着により形成する前に、前記電子放出特性を検査することを特徴とする電子放出素子の検査装置。

IPC (2件)：

H01J 9/42 ,  H01J 31/12

FI (2件)：

H01J 9/42 A ,  H01J 31/12 C

Fターム (6件)：

5C012AA05 ,  5C012BE03 ,  5C036EE19 ,  5C036EF01 ,  5C036EG02 ,  5C036EH26