特許
J-GLOBAL ID：200903058108989525
ウエハ搭載用テーブル
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-269685
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097270
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】 ウエハの大きさを変更しても段取りが不要なウエハ搭載用テーブルを提供すること。【構成】 テーブル本体2の略中央部にウエハ10の搭載部3を設けたウエハ搭載用テーブル1で、この搭載部3にウエハ10を吸着固定するための吸引孔32を設けるとともに、この吸引孔32を中心にして、搭載するウエハ10の外径寸法に対応した径の円を、複数個同心円状にかつ段差31をもって設ける。また、このテーブル本体2と搭載部3とを別物にしたものでもある。
請求項（抜粋）：
テーブル本体の略中央部にウエハの搭載部が設けられたウエハ搭載用テーブルにおいて、前記搭載部には、該ウエハを吸着固定するための吸引孔が設けられているとともに、前記吸引孔を中心にして、搭載する前記ウエハの外径寸法に対応した径の円が、複数個同心円状にかつ段差をもって設けられていることを特徴とするウエハ搭載用テーブル。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/08
, H01L 21/78
