カソードルミネッセンス専用測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-190313
公開番号（公開出願番号）：特開2006-010585
出願日： 2004年06月28日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：

【課題】電子銃の制約を受けず、高い集光効率の光学系を設計することが可能なカソードルミネッセンス専用測定装置を提供する。【解決手段】試料(2)に電子線を照射するための電子線照射部(3)と、試料(2)から発光するカソードルミネッセンスを測定する発光測定部(4)と、カソードルミネッセンスを発光測定部(4)に集光する、楕円鏡(5)を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせとを備えたカソードルミネッセンス専用測定装置(1)であって、電子線照射部(3)、発光測定部(4)および楕円鏡(5)を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせが同一のフランジ(7)に固定されて一体化され、それらが真空装置に接続されており、楕円鏡(5)を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせにより、照射する電子線の軸と試料(2)からのカソードルミネッセンスの軸とを別にして、電子線照射と集光を反平行で行うカソードルミネッセンス専用測定装置(1)とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料に電子線を照射する電子線照射部と、試料から発光されるカソードルミネッセンスを測定する発光測定部と、カソードルミネッセンスを発光測定部に集光する、楕円鏡を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせと、を備えたカソードルミネッセンス専用測定装置であって、電子線照射部、発光測定部、および楕円鏡を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせが同一のフランジに固定されて一体化され、それらが真空装置に接続されており、楕円鏡を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせにより、照射する電子線の軸と試料からのカソードルミネッセンスの軸とを別にして、電子線照射と集光を反平行で行うことを特徴とするカソードルミネッセンス専用測定装置。

IPC (2件)：

G01N 21/62 , G01N 23/225

FI (2件)：

G01N21/62 A , G01N23/225

Fターム (20件)：

2G001AA03 , 2G001AA07 , 2G001AA10 , 2G001BA28 , 2G001CA03 , 2G001CA07 , 2G001CA10 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001HA09 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA07 , 2G043AA01 , 2G043EA11 , 2G043GA04 , 2G043GB01 , 2G043HA03 , 2G043JA01 , 2G043LA03

引用特許：

出願人引用 (2件)

固体表面観察装置と固体表面観察方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-198841 出願人：キヤノン株式会社
試料分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-184065 出願人：株式会社トプコン

審査官引用 (7件)

カソードルミネッセンス分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-258588 出願人：株式会社堀場製作所
特開昭63-061938
ダイヤモンドの検査
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-506452 出願人：ゲルザンエスタブリッシュメント

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