特許
J-GLOBAL ID：200903058121131874
基板の表面平滑化装置および方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
竹内 澄夫
, 堀 明▲ひこ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-276505
公開番号（公開出願番号）：特開2004-114164
出願日： 2002年09月24日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：
【課題】研磨テープを使用して基板の表面を平滑化するに際して,パーティクルの発生を防止する基板の表面平滑化装置を提供する。【解決手段】回転支持される基板の表面平滑化装置10は,ベースプレート11と,ベースプレート11に,そのプレートの面にそって移動可能に取り付けられ,張り出しアーム部22を有する第一のブロック20と,張り出しアーム部22の先端部に,ベースプレート11の面に対して垂直な方向に取り付けられるローラ23と,張り出しアーム部22に,ローラ23の軸線方向に対して垂直な方向に移動可能に取り付けられる第一の移動部材30と,ベースプレート11に取り付けられ,第一の移動部材を取り囲むように,ローラ23を介して,研磨テープを送り出し,巻き取るための第一の送り出し,巻き取り手段12,13と,張り出しアームに取り付けられる,第一の移動部材を移動させる第一の移動手段21と,を含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
回転支持される基板の表面平滑化装置であって,
(a)ベースプレートと,
(b)前記ベースプレートに,そのプレートの面にそって移動可能に取り付けられ,張り出しアーム部を有する第一のブロックと,
(c)前記張り出しアーム部の先端部に,前記ベースプレートの面に対して垂直な方向に取り付けられるローラと,
(d)前記張り出しアーム部に,前記ローラの軸線方向に対して垂直な方向に移動可能に取り付けられる第一の移動部材と,
(e)前記ベースプレートに取り付けられ,前記第一の移動部材を取り囲むように,前記ローラを介して,研磨テープを送り出し,巻き取るための第一の送り出し,巻き取り手段と,
(f)前記張り出しアーム部に取り付けられる,前記第一の移動部材を移動させる第一の移動手段と,
を含み,
前記第一の移動部材は,前記研磨テープを背後から押し付けるパッドを有し,前記第一の移動手段により,前記第一の移動部材は,前記研磨テープを送り出し,巻き取るときは,前記パッドが前記研磨テープに接触しない引き込み位置に移動し,基板を平滑化するときは,前記パッドにより前記研磨テープを前記基板の一面に押し付ける押し付け位置に移動する,
ところの表面平滑化装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
3C058AA05
, 3C058AA11
, 3C058AA16
, 3C058AA18
, 3C058BC02
, 3C058CB01
, 3C058CB03
, 3C058DA17
