特許
J-GLOBAL ID：200903058121577830
金属膜のパターニング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-057199
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273426
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】金属膜をほとんどオーバーエッチングを生じさせることなく高精度にパターニングする。【構成】パターニングする金属膜2の上に、そのパターニング形状に対応する第1のレジストマスク3を形成するとともに、前記金属膜2の上に前記第1のレジストマスクの形成領域を避けて所定のバーコードに対応するパターンの第2のレジストマスク4を形成しておき、金属膜2をエッチングしながら第2のレジストマスクを形成した部分をバーコード読取器9により監視して、第2のレジストマスク4の下に残る金属膜2をバー要素とするバーコードパターンを読取ったときにエッチングを終了する。
請求項（抜粋）：
パターニングする金属膜の上に、そのパターニング形状に対応する第1のレジストマスクを形成するとともに、前記金属膜の上に前記第1のレジストマスクの形成領域を避けて所定のバーコードに対応するパターンの第2のレジストマスクを形成しておき、前記金属膜をエッチングしながら前記第2のレジストマスクを形成した部分をバーコード読取り手段により監視して、前記第2のレジストマスクの下に残る金属膜をバー要素とするバーコードパターンを読取ったときにエッチングを終了することを特徴とする金属膜のパターニング方法。
IPC (2件)：
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