特許
J-GLOBAL ID：200903058123695384

基板保持機構およびそれを用いた露光装置

発明者：
山本 磨人

山本 磨人 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-372036
公開番号（公開出願番号）：特開2005-136289
出願日： 2003年10月31日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】 基板の両面を同時に保持することにより、保持面積の拡大、保持力の向上を図ると共に、基板受け渡し面のチルト補正の容易化、基板の面精度の維持を可能にし、装置全体の基板搬送スループット向上、および搬送精度の向上を実現する。【解決手段】 基板8の両面の一方を吸着する第1保持部2,3と、他方に当接してそれを支持する第2保持部6,7と、基板を吸着した第1保持部を第2保持部側へ付勢する付勢手段4,5とで基板保持機構1を構成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板の両面の一方を吸着する第1保持部と、他方に当接してそれを支持する第2保持部と、基板を吸着した第1保持部を第2保持部側へ付勢する付勢手段とを有することを特徴とする基板保持機構。
IPC (3件)：
H01L21/68 ,  B25J15/06 ,  H01L21/027
FI (4件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/68 S ,  B25J15/06 Z ,  H01L21/30 502J
Fターム (25件)：
3C007AS05 ,  3C007AS24 ,  3C007DS03 ,  3C007ES01 ,  3C007ET01 ,  3C007EV05 ,  3C007FS01 ,  3C007FT17 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031FA12 ,  5F031HA14 ,  5F031HA24 ,  5F031HA26 ,  5F031HA29 ,  5F031HA30 ,  5F031MA27 ,  5F031PA09 ,  5F031PA14 ,  5F046CC01 ,  5F046CD01 ,  5F046CD04 ,  5F046CD06
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (5件)
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