特許
J-GLOBAL ID：200903058127843639
X線回折装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 寿武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-267954
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102213
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】X線回折装置において、試料容器内に装着した試料を高真空状態下におくことを可能とする。【構成】試料容器に連結手段を直接連結し、主ステージ上で試料容器と真空吸引手段を連通することにより、試料容器と真空吸引手段の距離を短縮する。さらに、試料容器と真空吸引手段とを一体に回転させる構成とし、これらの連結部に磁気シールドを不要とした。
請求項（抜粋）：
主ステージ上に設けられたX線回折測定ユニットと、このX線回折測定ユニットの回軸軸に接続され、かつ内部に試料装着部を有する試料容器と、前記主ステージ上に設けられた真空吸引手段と、この真空吸引手段と前記試料容器とを連通する連結手段とを備え、前記試料容器、真空吸引手段、及び連結手段が、前記試料回転駆動軸の回転に伴い一体に回転するようにしたことを特徴としたX線回折装置。
IPC (2件)：
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