特許
J-GLOBAL ID：200903058128486201
昇華成分除去ユニットおよびそれを備えた熱処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-115334
公開番号（公開出願番号）：特開平11-300153
出願日： 1998年04月24日
公開日（公表日）： 1999年11月02日
要約：
【要約】【課題】 昇華成分を取り除いた気体を装置外に排出する昇華成分除去ユニットおよびそれを備えた熱処理装置を提供する。【解決手段】 熱処理ユニット1の載置台3に載置された基板Wは、ヒータ3aによって加熱される。この加熱によって、基板W上の塗布剤に含まれる揮発成分とともに昇華成分が気化する。昇華成分を含む気体は、昇華成分除去ユニット5の筐体51内に導入される。導入された気体は、冷却バッド53の冷却面53aで冷却される。この冷却によって、気体中の昇華成分は、冷却面53a上で固化堆積して取り除かれる。昇華成分が取り除かれた気体は、排気口56から排気される。したがって、排気ダクト8内で昇華成分が固化するのを防止することができる。
請求項（抜粋）：
昇華した成分を含む気体中から昇華成分を除去する昇華成分除去ユニットであって、昇華成分を含む気体を導入する導入口と、前記導入口から導入した気体を排気する排気口とが形成された筐体と、前記筐体の導入口から筐体内に導入された気体を冷却することで昇華成分を捕捉する捕捉部材と、前記捕捉部材を冷却する冷却手段とを備えたことを特徴とする昇華成分除去ユニット。
IPC (4件)：
B01D 53/44
, B01D 53/74
, B01D 8/00
, H01L 21/31
B01D 53/34 117 F
, B01D 8/00 Z
, H01L 21/31 A
