特許
J-GLOBAL ID:200903058133712503
SQUID用プローブ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西田 新
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-239166
公開番号(公開出願番号):特開平5-080137
出願日: 1991年09月19日
公開日(公表日): 1993年04月02日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 冷媒である液体ヘリウムの蒸発量が少なく、かつ、蒸発したヘリウムガスによる信号線のふらつきがなく、しかも外部からの磁場の影響を受けにくいSQUID用プローブを提供する。【構成】 SQUID素子およびピックアップコイル3の支持体としてプリント配線板1を用い、この配線板1上には、導体薄膜配線4をツイストペア構造とした信号線を形成して外部の計測回路と接続する。
請求項(抜粋):
支持体の先端部にピックアップコイルおよびSQUID素子が固着され、かつ、その支持体に沿って上記SQUID素子と計測回路を接続するための信号線を備えたプローブにおいて、上記支持体が細長いプリント配線板によって形成されているとともに、上記信号線はこのプリント配線板上の薄膜導体により形成され、かつ、この薄膜導体は、上記プリント配線板上で層状のツイストペア構造となっていることを特徴とするSQUID用プローブ。
IPC (2件):
G01R 33/035 ZAA
, H01L 39/22 ZAA
引用特許:
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