圧電振動子の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-075752
公開番号（公開出願番号）：特開平5-083065
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：

【要約】【構成】圧電基板11に圧電振動子形状を有するマスキング材13を形成し、その後金属やセラミックスからなる微粒子17を加圧した気体とともに圧電基板11に噴射して、圧電基板11のマスキング材13を形成していない領域の露出した圧電基板11を加工除去し、しかる後、マスキング材13を除去する。【効果】フォトリソグラフィー技術により超小型の圧電振動子の製造が可能となり、とくに従来製造が不可能であった異形形状のATカット水晶振動子が実現できる。さらに圧電振動子の側壁部にサイドエッチングが発生せず、断面形状がほぼ直角の圧電振動子が得られる。またさらに、圧電基板のポリシング加工工程が不要となり、ラッピング加工のみで製造できることから、製造コスト低減の効果をもたらす。

請求項（抜粋）：

圧電基板に圧電振動子形状を有するマスキング材を形成する工程と、金属またはセラミックス等からなる微粒子を圧電基板に加圧した気体と共に噴射させて、圧電基板のマスキング材の非マスキング領域を加工除去する工程と、マスキング材を除去する工程と、圧電基板に所定形状の電極材を形成する工程とを有すること特徴とする圧電振動子の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭51-093885
特開昭53-063995
特開昭51-093885

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