特許
J-GLOBAL ID：200903058155928879
無電解銅めっき液への銅補給方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-184020
公開番号（公開出願番号）：特開平6-025863
出願日： 1992年07月10日
公開日（公表日）： 1994年02月01日
要約：
【要約】【目的】本発明の目的は、めっき液寿命延長のために銅補給源として酸化銅を用い、さらに、銅突起欠陥のない高品質のめっき皮膜を得るためのものである。【構成】酸化銅(5)を酸化銅溶解槽(2)である程度溶解させた後、さらに、ミキシング機(4)により酸化銅粉の溶解を促進させ、これでも溶解しきれなっかった酸化銅はフィルター(7)で濾過することにより、銅突起欠陥のない高品質のめっき皮膜を得ることができるとともに、酸化銅を使用しているためめっき液の寿命延長が可能となる。【効果】本発明により、めっき液の寿命延長と、さらに、銅突起欠陥のない高品質のめっき皮膜を得ることができる。
請求項（抜粋）：
無電解銅めっき槽に無電解銅めっき液を循環供給するための循環配管から分岐した配管によって無電解銅めっき液を撹拌槽に送り、この撹拌槽内の無電解銅めっき液に酸化銅を供給して撹拌した銅補給液を前記循環配管内に戻して前記無電解銅めっき槽から排出する液と混合し、この混合液を前記循環配管内に取付けられたミキシング機により撹拌し、さらに前記循環配管内に設けられた濾過器によって濾過して後、前記無電解銅めっき槽に循環供給することを特徴とする銅補給方法。
IPC (2件)：
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