特許

J-GLOBAL ID：200903058157309564

物体表面の欠陥検査方法および装置

発明者： 山田 茂
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-250380
公開番号（公開出願番号）：特開2001-076148
出願日： 1999年09月03日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 高い欠陥検出能力を備え、検出処理の効率化と装置コストの低減を図る物体表面の欠陥検査方法および装置を提供する。【解決手段】 シート状物体表面を走査してその表面上に存在する欠陥を検査する。物体表面に対して副走査方向にスリット状に照明光を照射する工程と、物体表面の被照明領域から撮像手段によって得られた画像信号をアナログ信号からデジタル信号に変換する工程と、デジタル信号を圧縮するデータ圧縮工程と、圧縮されたデジタル信号を記憶する画像データ記憶工程と、欠陥部分に対応する画像データのみを抽出する欠陥検出工程と、を有する。

請求項（抜粋）：

シート状物体表面を走査してその表面上に存在する欠陥を検査する物体表面の欠陥検査方法であって、物体表面に対して副走査方向にスリット状に照明光を照射する工程と、物体表面の被照明領域から撮像手段によって得られた画像信号をアナログ信号からデジタル信号に変換する工程と、デジタル信号を圧縮するデータ圧縮工程と、圧縮されたデジタル信号を記憶する画像データ記憶工程と、欠陥部分に対応する画像データのみを抽出する欠陥検出工程と、を有することを特徴とする物体表面の欠陥検査方法。

IPC (3件)：

G06T 7/00 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88

FI (3件)：

G06F 15/62 410 A ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/88 J

Fターム (60件)：

2F065AA49 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065BB30 ,  2F065CC02 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065FF67 ,  2F065GG04 ,  2F065GG22 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL14 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065MM28 ,  2F065PP16 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ05 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ51 ,  2G051AA32 ,  2G051AA34 ,  2G051AA41 ,  2G051AB07 ,  2G051BA05 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA01 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EC03 ,  2G051EC05 ,  2G051EC07 ,  5B057AA01 ,  5B057BA15 ,  5B057BA21 ,  5B057BA29 ,  5B057CE06 ,  5B057CG01 ,  5B057CH11 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07