特許

J-GLOBAL ID：200903058164319079

高透過率透明導電膜及びその製造方法

発明者： 水野 雅夫 ,  宮本 隆志
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 明田 莞
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-133352
公開番号（公開出願番号）：特開平11-322333
出願日： 1998年05月15日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：

【要約】【課題】 可視光透過率が高く90%以上であり、又、電気抵抗率も低い透明導電膜及びその製造方法、特に、成膜温度:250 °C以下の成膜条件で成膜される場合においても得られる膜の電気抵抗率が低く、1×10-2Ωcm以下であると共に、可視光透過率が90%以上である透明導電膜及びその製造方法を提供する。【解決手段】 Inの酸化物を主成分とする透明導電膜であって、Geを含有して可視光透過率が90%以上であることを特徴とするもの。

請求項（抜粋）：

Inの酸化物を主成分とする透明導電膜であって、Geを含有して可視光透過率が90%以上であることを特徴とする高透過率透明導電膜。

IPC (8件)：

C01G 15/00 ,  C01G 17/00 ,  C03C 17/245 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 339 ,  H01L 21/28 301

FI (8件)：

C01G 15/00 B ,  C01G 17/00 ,  C03C 17/245 A ,  C23C 14/08 D ,  C23C 14/34 M ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 339 Z ,  H01L 21/28 301 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭62-202415