特許
J-GLOBAL ID：200903058170538068
走査型プローブ顕微鏡の探針評価方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-355400
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198372
出願日： 1993年12月29日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：
【要約】【目的】走査型プローブ顕微鏡の探針の尖端の形状を定量的に評価する方法を提供する。【構成】走査型プローブ顕微鏡の評価すべき探針2を、周期的な凹凸形状を持つ試料6の表面上で走査させることにより、探針尖端の形状に依存した信号波形が得られる。この信号波形と、評価すべき探針2を用いることなく、予め走査型電子顕微鏡により得られた試料6の表面の凹凸形状の波形データとの相関関係に基づいて、探針2の尖端の形状が定量的に評価される。
請求項（抜粋）：
探針の尖端を試料の表面に対して所定の微小距離以内に接近させた状態で、探針を試料表面に沿った少なくとも一つの方向へ走査させるべき微動走査手段と、探針と試料表面との間に生じる物理量を検出する検出手段と、物理量の検出に基づいて試料表面の形状に対応する信号波形を出力する手段とを備える走査型プローブ顕微鏡の探針の尖端の形状を定量的に評価する方法であって、探針を走査させるべき方向に沿って既知の周期的な凹凸形状を有する標準試料の表面の少なくとも一つの走査ラインに沿った形状のデータを、評価すべき探針を用いることなく求める行程と、評価すべき探針を用いて標準試料の表面の少なくとも一つの走査ラインに対する走査型プローブ顕微鏡の実際の信号波形を得る行程と、標準試料の表面の形状データと実際の信号波形との相関関係に基づいて、評価すべき探針の尖端の形状を定量的に評価する行程とからなる走査型プローブ顕微鏡の探針評価方法。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01B 7/34
, H01J 37/28
