特許

J-GLOBAL ID：200903058172587910

真空ロック室のゲート弁装置

発明者： 立道 潤一
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 谷川 昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-327457
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162395
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 真空処理室に対し被処理物体を搬入、搬出するための真空ロック室の外部と連通するゲート開口を開閉するゲート弁装置であって、被処理物体にパーティクルを付着させず、真空ロック室と外部との間で被処理物体をやり取りする外部ロボットの設置及び動作に支障なくゲート開口を確実に気密に閉じることができるゲート弁装置を提供する。【解決手段】 真空ロック室2の外部に連通するゲート開口22を開閉するためのゲート弁71と、上端部にゲート弁を支持しゲート弁より下方でゲート弁を真空ロック室に対し接離させる方向に揺動可能に支持され、ゲート弁をゲート開口に臨む位置P1とこれより下方へ後退した位置P2との間に昇降駆動する第1ピストンシリンダ装置72と、ゲート弁が位置P1に配置された状態でゲート弁をゲート開口を閉じる位置P3又は離反位置P1に配置するように第1ピストンシリンダ装置を揺動させる第2ピストンシリンダ装置73とを備える。

請求項（抜粋）：

所定真空下で被処理物体に所定の処理を施すための真空処理室に対し該被処理物体を搬入及び(又は)搬出するための該真空処理室に連設された真空ロック室の外部と連通するゲート開口を開閉するゲート弁装置であり、前記ゲート開口を開閉するための弁体と、上端部に該弁体を支持するとともに該弁体よ下方位置で、該弁体を前記真空ロック室に対し接離させる方向に揺動可能に支持され、前記弁体を前記ゲート開口に臨む位置と該位置より下方へ後退した位置との間に昇降駆動する弁体駆動装置と、前記弁体が前記ゲート開口に臨む位置に配置された状態で該弁体を前記ゲート開口を閉じる位置又は該位置より離反した位置に配置するように前記弁体駆動装置を揺動させるための揺動駆動装置とを備えていることを特徴とする真空ロック室のゲート弁装置。

IPC (7件)：

H01J 37/317 ,  B01J 3/03 ,  B65G 49/00 ,  C23C 14/00 ,  C23C 14/56 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/3065

FI (7件)：

H01J 37/317 Z ,  B01J 3/03 J ,  B65G 49/00 C ,  C23C 14/00 B ,  C23C 14/56 G ,  C23C 16/44 B ,  H01L 21/302 A