特許

J-GLOBAL ID：200903058175235004

ガス検出方法とその装置

発明者： 吉川 研一 ,  加藤 陽
出願人/特許権者： フィガロ技研株式会社
代理人 (1件)： 塩入 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-137622
公開番号（公開出願番号）：特開平10-311812
出願日： 1997年05月12日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：

【要約】【構成】 金属酸化物半導体ガスセンサへ周期的な気流を加え、気流へのガスセンサの非線形応答からガスを定性する。【効果】 金属酸化物半導体ガスセンサを用いた新たなガスの検出方法が得られ、得られる応答波形はガスの種類に特有で、情報量の多い信号が得られる。

請求項（抜粋）：

ガスセンサを周期的に変化する気流に曝し、気流の変化に対する前記ガスセンサの応答からガスを検出することを特徴とするガス検出方法。