特許
J-GLOBAL ID:200903058182140574

クリーン作業装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 前田 弘 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-255541
公開番号(公開出願番号):特開2000-085961
出願日: 1998年09月09日
公開日(公表日): 2000年03月28日
要約:
【要約】【課題】 クリーントンネルAを構成する各クリーンモジュール1で点検等の作業を行う際、そのクリーンモジュール1のクリーン環境を良好に維持し又はクリーン環境から外れても早期に元のクリーン環境に復帰させながら、作業を行い得るようにする。【解決手段】 各クリーンモジュール1のケーシング2内に、搬送コンベア8が配置されかつ天井部の給気口5を介して給気ダクト13に連通するクリーン空間4を設け、ケーシング2前壁に扉23により開閉される開口部22を形成する。各クリーンモジュール1での作業時、その両側のシャッタ装置26,26を閉じてクリーン空間4を隣接モジュール1,1のクリーン空間4,4と連通遮断し、給気口5の給気調整弁19を開いてクリーン空間4へのクリーンエア供給量を増やす。その状態で扉23を開いて開口部22によりクリーン空間4で作業を行い、クリーン空間4のエアを開口部22から外部に流出させる。
請求項(抜粋):
クリーントンネルが長さ方向に複数のクリーンモジュールに分けられており、上記各クリーンモジュールは、少なくとも、搬送コンベアが配置されたクリーン空間を有するケーシングと、該ケーシングの側部に形成され、クリーン空間をケーシング外に連通する作業用開口部と、該作業用開口部を開閉する開閉体とを備え、上記各クリーンモジュールのクリーン空間に対しクリーン空間天井部の給気口を介してクリーンエアを送給する給気ダクトと、上記各クリーンモジュールの他のクリーンモジュールとの境界部に設けられ、両クリーンモジュールのクリーン空間同士の連通を遮断するシャッタ手段と、上記給気ダクトからクリーン空間へのクリーンエアの供給量を調整する給気調整手段とを備えたことを特徴とするクリーン作業装置。
IPC (2件):
B65G 49/00 ,  F24F 7/06
FI (2件):
B65G 49/00 A ,  F24F 7/06 C
Fターム (4件):
3L058BF01 ,  3L058BF06 ,  3L058BF07 ,  3L058BF08

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