特許

J-GLOBAL ID：200903058183777053

レーザ加工装置

発明者： 井嶋 健一 ,  小山内 肇
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-039365
公開番号（公開出願番号）：特開平10-235484
出願日： 1997年02月24日
公開日（公表日）： 1998年09月08日
要約：

【要約】【課題】 像転写光学系を用いたレーザ加工装置における高精度安定加工を実現する。【解決手段】 マスクを複数個回転板上に配置するとともに、回転板に対し半径方向に対して移動可能な位置微調整機構を設け、制御装置からの指令で、回転板を回転装置により回転・位置決めして、所望のマスクを選択する。

請求項（抜粋）：

レーザ光を発信出力するレーザ発振器と、所望のマスク穴を有するマスクと、上記マスクを保持する回転板と、上記回転板を回転させる回転装置と、上記マスクを上記回転板の非回転方向に対して、位置移動可能に設けられた位置調整装置と、上記回転板を回転させ上記マスクを選択し、上記レーザ光の光路に配置する制御装置とを備え、上記レーザ光を、上記マスクを通して被加工物に照射して、所望の加工を行うレーザ加工装置。

IPC (2件)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/00

FI (2件)：

B23K 26/06 J ,  B23K 26/00 M

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-240188
  
• 特開昭59-078870