自動焦点合わせ方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：穂坂和雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-001274
公開番号（公開出願番号）：特開平7-208917
出願日： 1994年01月11日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】本発明は検査対象物を撮像器により撮像するための自動焦点合わせ方法及び装置に関し,撮像装置による画像データを用いることなく総合的な検査時間を短縮することができると共に,検査対象物の表面状態に依存しないことを目的とする。【構成】撮像器の垂直下方に設けられた駆動テーブルの表面位置に斜め上方から加工した光を照射し,検査対象物を乗せた駆動テーブルを移動した時に駆動テーブル上における加工した光の反射位置を反射位置検出器により検出する。撮像器の合焦位置における加工した光の反射位置を予め記憶しておき,駆動テーブルの移動時に発生した反射位置検出器の反射位置と合焦位置における反射位置を比較して,両者の一致を検出すると移動テーブルの移動を停止するよう構成する。

請求項（抜粋）：

検査対象物を撮像器により撮像するための自動焦点合わせ方法において,撮像器の垂直下方に設けられた駆動テーブルの表面位置に斜め上方から加工した光を照射し,検査対象物を乗せた駆動テーブル上における前記加工した光の反射位置を反射位置検出器により検出し,この検出位置と予め記憶した前記撮像器の焦点位置における前記加工した光の反射位置とを比較して,両者の一致を検出すると前記撮像器の焦点が検査対象物の表面に合ったことを表す出力を発生することを特徴とする自動焦点合わせ方法。

IPC (6件)：

G01B 11/00 , G01C 3/06 , G02B 7/34 , G02B 7/28 , H01L 21/66 , H04N 5/232

FI (2件)：

G02B 7/11 C , G02B 7/11 N

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