特許

J-GLOBAL ID：200903058188713207

感放射線性樹脂組成物

発明者： 嶋田 篤文 ,  佐野 公康 ,  遠藤 昌之 ,  別所 信夫
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-065454
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262709
出願日： 1995年03月24日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】 感放射線性を有し、解像度が高く、しかも、絶縁性、平坦性、耐熱性、硬度、透明性の諸性能に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供することを目的とする。【構成】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、(A)(a)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物に由来する構成成分5〜50重量%、(b)エポキシ基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成成分10〜90重量%、(c)その他のモノオレフィン系不飽和化合物に由来する構成成分10〜70重量%、および(d)共役ジオレフィン系不飽和化合物に由来する構成成分3〜30重量%からなるアルカリ可溶性樹脂100重量部と、(B)1,2-キノンジアジド化合物5〜100重量部とが含有されてなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

(A)(a)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物に由来する構成成分5〜50重量%、(b)エポキシ基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成成分10〜90重量%、(c)その他のモノオレフィン系不飽和化合物に由来する構成成分10〜70重量%、および(d)共役ジオレフィン系不飽和化合物に由来する構成成分3〜30重量%からなるアルカリ可溶性樹脂100重量部と、(B)1,2-キノンジアジド化合物5〜100重量部とが含有されてなることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/022 ,  C08F 2/46 MDT ,  G02F 1/1333 505 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/312

FI (6件)：

G03F 7/022 ,  C08F 2/46 MDT ,  G02F 1/1333 505 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/312 D

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-137559   出願人：日本合成ゴム株式会社

審査官引用 (1件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-137559   出願人：日本合成ゴム株式会社