特許

J-GLOBAL ID：200903058189531692

薬液供給装置及び薬液供給方法

発明者： 式 善道
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-247429
公開番号（公開出願番号）：特開2001-076994
出願日： 1999年09月01日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 ポンプの吐出動作時に実際に薬液が吐出されないときはこのことを迅速に検出して、薬液処理不良が発生するのを確実に防止することにより、薬液処理の信頼性を向上させることができる薬液供給装置及び薬液供給方法を提供する。【解決手段】 薬液処理用の薬液13が貯蔵される薬液貯蔵槽14と、薬液貯蔵槽14からの薬液13を薬液処理部の半導体ウェーハ7に送るための配管8と、薬液貯蔵槽14から吸入した薬液13を配管8に吐出すると共に、この吐出動作時にON信号を出力するポンプ12と、ポンプ12の吐出側に接続された配管8の接続端部の近傍に設けられポンプ12の吐出動作時に配管8内の薬液13を検出すると共に、この検出動作時にON信号を出力する薬液検出センサー18と、ポンプ12及び薬液検出センサー18の各々から出力されたON信号に基づいてポンプ12の動作を制御する制御手段16とを備えた薬液供給装置。

請求項（抜粋）：

薬液処理用の薬液が貯蔵される薬液貯蔵槽と、前記薬液貯蔵槽からの薬液を薬液処理部に送るための配管と、前記薬液貯蔵槽から吸入した薬液を前記薬液処理部側の前記配管に吐出すると共に、この吐出動作時にON信号を出力するポンプと、前記ポンプの吐出側に接続された前記配管の接続端部の近傍に設けられポンプの吐出動作時に配管内の薬液を検出すると共に、この検出動作時にON信号を出力する薬液検出センサーと、前記ポンプ及び前記薬液検出センサーの各々から出力されたON信号に基づいてポンプの動作を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする薬液供給装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

H01L 21/30 569 B ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/304 648 K ,  H01L 21/304 648 G

Fターム (9件)：

2H096CA14 ,  2H096CA20 ,  2H096GA30 ,  2H096GA60 ,  5F046JA03 ,  5F046JA16 ,  5F046JA27 ,  5F046LA03 ,  5F046LA19