感光性樹脂組成物および感光性樹脂組成物のドライエッチング耐性向上方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鐘尾宏紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-191579
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033951
出願日： 1999年07月06日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】良好なパターンを形成することができ、高感度でドライエッチング耐性に優れた感光性樹脂組成物および感光性樹脂組成物のドライエッチング耐性を向上する方法を提供すること。【構成】アルカリ可溶性樹脂および感光性物質からなる感光性樹脂組成物に、下記式1で表されるパラメーター(P)が30以上のフェノール性水酸基を有する化合物を添加、含有せしめる。〔式1〕(式中、ジアゾカップリング反応点数は、化合物中におけるベンゼン環のヒドロキシル基のo-、p-位で、置換基のない炭素数である。)

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、感光性物質および下記式1で表されるパラメーター(P)の値が30以上のフェノール性水酸基を有する化合物を含有すること特徴する感光性樹脂組成物。【式1】(式中、ジアゾカップリング反応点数は、化合物中におけるベンゼン環のヒドロキシル基のo-、p-位で、置換基のない炭素数である。)

IPC (3件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/022 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/022 , H01L 21/30 502 R , H01L 21/30 569 F

Fターム (15件)：

2H025AA01 , 2H025AA09 , 2H025AA14 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB29 , 2H025CB42 , 2H025CB45 , 2H025CC20 , 5F046JA21 , 5F046JA22 , 5F046LA14

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平3-200252
特開平3-200253
特開昭64-072152

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