特許
J-GLOBAL ID：200903058194581886
油拡散真空ポンプ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-253789
公開番号（公開出願番号）：特開平9-088899
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：
【要約】【課題】 外乱が生じても油汚染が生じない定温度制御方式の油拡散真空ポンプを提供する。【解決手段】 油拡散ポンプ10のボイラ部14近傍の温度を温度センサ18により測定してボイラ部14のヒータ13への供給電力の調整を定温度制御方式により行う。定温度制御は、測定温度が第1メモリ31に記憶させた設定温度になるように供給電力の制御をするが、測定温度が設定温度以上になった状態が続いたとしても、第2メモリ32に記憶させた最小維持電力以上の電力を供給しつづけることにより、最低限の油加熱しつづけ、適正な排気能力が常に持続できるようにする。
請求項（抜粋）：
油拡散ポンプのボイラ部近傍の温度あるいはボイラ部内の油温を温度センサにより測定してボイラ部のヒータへの供給電力の調整を行う定温度制御方式の油拡散真空ポンプにおいて、油拡散ポンプ運転時のヒータへの供給電力を定温度制御方式により制御するとともに、常に所定の最小電力以上に維持されるように制御する温度制御手段を設けたことを特徴とする油拡散真空ポンプ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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