特許
J-GLOBAL ID：200903058198002813
露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-167406
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012899
出願日： 2002年06月07日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】主・副走査方向に必要な分解能と所定の走査速度(露光速度)を得ると共に、照明ムラ、画素欠陥の補正機能を得ることを課題とする。【解決手段】主走査方向の画素数がmのDMD50を、露光ヘッドの主走査方向へ1/m傾ける。副走査方向の必要なドットピッチがrであるとき、走査線のピッチがRであれば、多重露光回数Nを、N=(R/r)×mとする。例えば、100行×200列の画素数を備えた空間光変調素子を1/m=1/100傾けると、400の画素を実質同時露光することになる。すなわち、副走査方向の分解能(Addressability)は2倍となっている。走査線のピッチRが10μm、副走査方向のドットピッチrを5μmとすると、(10/5)×100=50となり、50回多重露光することになる。また、主走査方向のドットピッチ(分解能)を同じく5μmとするには、露光ヘッドと露光面が5μm相対移動する毎に露光すればよい。【選択図】 図10
請求項（抜粋）：
露光面に対して相対的に走査する露光ヘッドと、
前記露光ヘッドに設けられ、走査方向にm行、走査方向と直交する方向にn列の画素が配列され、光源から照射された光を制御信号に応じて変調する空間光変調素子と、
各画素で変調された光を露光面上に結像させる光学系と、を備えた露光装置において、
前記空間光変調素子の画素の行を、露光ヘッド又は露光面の走査方向に対して傾けて、走査方向にN回多重露光し、走査線の間にm/N-1のドットを形成することを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
G03F7/20
, G02B27/18
, H01L21/027
G03F7/20 501
, G02B27/18 A
, H01L21/30 529
2H097AA02
, 2H097BA10
, 2H097CA06
, 2H097CA17
, 2H097LA20
, 5F046BA07
, 5F046CB27
