特許
J-GLOBAL ID：200903058200160782
結晶製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮▼崎▲ 主税 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-201326
公開番号（公開出願番号）：特開平6-048883
出願日： 1992年07月28日
公開日（公表日）： 1994年02月22日
要約：
【要約】【目的】 厳格な温度制御を必要とすることなく、大型の単結晶を容易にかつ迅速に製造することを可能とする結晶製造装置を提供する。【構成】 結晶を製造するための固体原料12の周囲に予備熱源としてのハロゲンランプ13,13を配置し、固体原料12を溶融させるためのレーザー装置14及びレーザー装置14から照射されるレーザー光14aをその断面がライン状となるように変換するための光学装置15を配置し、ハロゲンランプ13,13及びレーザー装置14を固体原料12の長さ方向に沿って移動させ得るように構成してなる単結晶製造装置11。
請求項（抜粋）：
結晶を製造するための固体原料の周囲に配置されており、かつ前記固体原料をその融点よりも低い温度に加熱するための予備熱源と、前記固体原料の前記予備熱源で加熱された部分にレーザー光を照射させ得るように配置されたレーザー装置とを備えることを特徴とする、結晶製造装置。
IPC (3件)：
C30B 15/00
, H01L 21/208
, H01S 3/00
