特許
J-GLOBAL ID:200903058203265259

プローブカード

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 梶山 佶是 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-127843
公開番号(公開出願番号):特開平6-324081
出願日: 1993年04月30日
公開日(公表日): 1994年11月25日
要約:
【要約】【目的】多ピンで狭ピッチのICのプローブテストに適した構成のプローブカードを実現する。【構成】メッキ処理により形成された複数の配線パターンを有しこれらの配線パターンのそれぞれの先端部14が基板に支持されることなく露出し後端側に接触端子を有するフレキシブル基板15と、それぞれの接触端子に接触する接触端子がそれぞれに設けられた複数のパターン配線を有するハードなカード基板20と、それぞれの先端部14をプローブピンとして傾斜して支持する支持プレート25と、を備え、フレキシブル基板15上のそれぞれの接触端子がカード基板のそれぞれの接触端子と接続されている。
請求項(抜粋):
直接または間接的にメッキ処理により形成された複数の配線パターンを有しこれらの配線パターンのそれぞれの先端部が基板に支持されることなく露出し途中または後端側に第1の接触端子を有するフレキシブル基板と、それぞれの前記第1の接触端子に接触する第2の接触端子がそれぞれに設けられた複数のパターン配線を有するカード基板と、それぞれの前記先端部をプローブピンとして支持する支持プレートと、を備え、前記フレキシブル基板上のそれぞれの第1の接触端子が前記カード基板のそれぞれの第2の接触端子と接続されていることを特徴するプローブカード。

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