特許
J-GLOBAL ID：200903058206524239
圧力センサの特性測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-112118
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300616
出願日： 1997年04月30日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 機械的応力の発生を抑え、高精度かつ高効率で特性測定のできる圧力センサの特性測定装置を提供する。【解決手段】 圧力配管24から分岐された複数の配管端末4の先端面に圧力導入管17が余裕をもって挿入できる程度の大きさの挿入穴41が形成され、配管端末4の内部には、外周形状が配管端末4の内周形状と略同一で、内周部には圧力導入管17の先端部との当接部51が形成されたリング状部材5を、配管端末4の内周面に沿って長さ方向に可動自在となるように設け、圧力導入管17を挿入穴41に挿入し、圧力導入管17の先端部をリング状部材5の当接部51に当接させ、配管端末4及び圧力導入管17を介して圧力センサ本体1に圧力を導入し、ダイアフラム16のたわみに応じて発生した電気信号を外部端子18から取り出すようにした。
請求項（抜粋）：
圧力センサ本体と、該圧力センサ本体内のダイアフラムに圧力を導入する圧力導入管と、前記ダイアフラムのたわみに応じて出力される電気信号を外部に取り出す外部端子とを有してなる圧力センサに対して、圧力印加治具を介して圧力を印加して圧力特性を測定する特性測定装置であって、圧力配管から分岐された複数の配管端末を有し、該配管端末の先端面には前記圧力導入管が余裕をもって挿入できる程度の大きさの挿入穴が形成され、前記配管端末の内部には、外周形状が前記配管端末の内周形状と略同一で、内周部には前記圧力導入管の先端部との当接部が形成されたリング状部材を、配管端末の内周面に沿って長さ方向に可動自在となるように設けることにより圧力印加治具を構成し、前記圧力導入管を前記配管端末の挿入穴に挿入し、圧力導入管の先端部を前記リング状部材の当接部に当接させ、前記圧力配管から配管端末及び圧力導入管を介して圧力センサ本体に圧力を導入し、導入した圧力により生じたダイアフラムのたわみに応じて発生した電気信号を前記外部端子から取り出すようにしたことを特徴とする圧力センサの特性測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01L 27/00
, H01L 29/84 Z
