特許

J-GLOBAL ID：200903058208933373

テープキャリアの欠陥検出装置および欠陥検査システム

発明者： 中森 幸雄
出願人/特許権者： 日本インターコネクションシステムズ株式会社
代理人 (1件)： 半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-179421
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012628
出願日： 1998年06月25日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】 テープキャリアの種別などに応じて、最適な欠陥検出手法を用いて、テープキャリアの欠陥を検出可能な欠陥検出装置を提供する。【解決手段】 第1のCCDカメラ16により撮影された画像が、画像計測部20に与えられ、画像計測部20により、二値化された画像データが生成される。画像計測部20において、画像データには、複数の検査手法に対応する複数の処理が施される。さらに、画像判断/制御部22は、予め定められた処理の組み合わせからなる検査論理に基づき、画像計測部20による処理結果が、所定の組み合わせの一つに合致したときに、テープキャリアに欠陥が生じていると判断する。上記検査論理は、テープキャリアの種別ごとに、適用開発システム40により作成され、欠陥検出装置10に与えられる。

請求項（抜粋）：

テープキャリアに形成されたリードに光を照射して、その反射光を検出することにより、リードを含む画像を得る画像取得手段を備え、該画像取得手段により得られた画像に基づき、リードに生じた欠陥を検出するテープキャリアの欠陥検出装置であって、前記画像に対応する画像データを受け入れ、これに少なくとも、複数の検査手法に対応する複数の処理を施す画像処理手段であって、テープキャリアの種別に応じた、所定の処理の組み合わせからなる検査論理に基づき、処理結果が、該組み合わせの一つに合致したときに、テープキャリアに欠陥が生じていると判断する画像処理手段を備えたことを特徴とする欠陥検出装置。

IPC (3件)：

H01L 21/60 311 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

H01L 21/60 311 W ,  G01N 21/88 F ,  H01L 21/66 D

Fターム (38件)：

2G051AA90 ,  2G051AB20 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CD04 ,  2G051DA01 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA23 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC02 ,  2G051ED03 ,  2G051ED07 ,  2G051ED14 ,  2G051ED23 ,  2G051FA10 ,  4M105CC21 ,  4M105CC31 ,  4M105CC41 ,  4M106AA05 ,  4M106AD27 ,  4M106BA04 ,  4M106CA38 ,  4M106CA66 ,  4M106DB02 ,  4M106DJ13 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23