特許
J-GLOBAL ID：200903058212091263
圧電振動子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-334840
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142971
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：
【要約】【課題】 小型化した圧電振動子容器内に収納する振動素板の保持と固着強度を向上した圧電振動子の製造方法を目的とする。【解決手段】 課題を解決するために本発明は、基板上に接着部材を用いて振動素板の主面に励振電極を形成した圧電振動子を片持ち保持する圧電振動子の製造方法において、該振動素板の保持部他端部の周辺を、該振動素板の短手方向に該振動素板の主面に対し垂直にレーザ光を掃引し、該振動素板の保持部他端部での該振動素板の垂直方向の位置寸法を測定することにより課題を解決する。
請求項（抜粋）：
基板上に接着部材を用いて振動素板の主面に励振電極を形成した圧電振動子を片持ち保持する圧電振動子の製造方法において、該振動素板の保持部他端部の周辺を、該振動素板の短手方向に該振動素板の主面に対し垂直にレーザ光を照射し掃引し、該振動素板の保持部他端部での該振動素板の垂直方向の位置寸法を測定することを特徴とした圧電振動子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 3/02 B
, H01L 41/22 Z
