特許

J-GLOBAL ID：200903058214963780

セラミックス・グリーンシート及びそのビアホール形成方法

発明者： 田中 剛 ,  尾形 知彦 ,  正木 孝樹
出願人/特許権者： 東レ株式会社
代理人 (1件)： 谷川 英次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-096459
公開番号（公開出願番号）：特開平10-274843
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：

【要約】【課題】 ビアホールの形成が極めて容易にかつ精度良くでき、しかも微細な孔をフォトマスクパターン通りに確実に形成することのできるセラミックス・グリーンシートのビアホールの形成方法を提供すること。【解決手段】 セラミックス粉末、紫外線吸光剤および感光性樹脂を含有するセラミックス・グリーンシートの両面から露光してビアホールを形成することから成る、セラミックス・グリーンシートのビアホールの形成方法並びにセラミックス粉末、紫外線吸光剤、側鎖にカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有するアクリル系共重合体、光重合開始剤を含有するセラミックス・グリーンシートの両面から露光してビアホールを形成することから成る、セラミックス・グリーンシートのビアホールの形成方法。

請求項（抜粋）：

セラミックス粉末、紫外線吸光剤および感光性樹脂を含有するセラミックス・グリーンシートの両面から露光してビアホールを形成することから成る、セラミックス・グリーンシートのビアホールの形成方法。

IPC (7件)：

G03F 7/004 501 ,  B28B 11/12 ,  C04B 35/622 ,  C04B 35/632 ,  C09K 3/00 104 ,  G03F 7/027 502 ,  C08L101/00

FI (7件)：

G03F 7/004 501 ,  B28B 11/12 ,  C09K 3/00 104 C ,  G03F 7/027 502 ,  C08L101/00 ,  C04B 35/00 G ,  C04B 35/00 108