特許
J-GLOBAL ID：200903058218948913
熱式流量センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-256501
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109507
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：
【要約】【目的】 膜式抵抗体を有する基板の熱伝導および断熱効果を良好にし、センサ応答性を大幅に高めるようにした熱式流量センサを提供する。【構成】 熱式流量センサ20は、矩形薄板状の基板22の表面に膜式抵抗体24および配線25、26が形成される。基板22は、長手方向中央部に高熱伝導率材料からなる伝熱部22bを有し、長手方向両端部に低熱伝導率材料からなる断熱部22a、22cを有する。膜式抵抗体24は、伝熱部22bの表面にパターン印刷され、配線25、26は、断熱部22a、22cの表面にパターン印刷される。流量測定時、膜式抵抗体24で発生した熱は、伝熱部22bに迅速に熱伝導し、断熱部22a、22cにより伝熱部22b以外の部分に熱が伝導するのが防止される。これにより、流量が増減する場合、伝熱部22bおよび膜式抵抗体24の温度が短時間で安定するため、センサ出力の応答性が向上する。
請求項（抜粋）：
高熱伝導率材料からなる伝熱部と、この伝熱部の一方の端部および他方の端部に構造的に接続される低熱伝導材料からなる断熱部とを有する基板と、前記伝熱部の表面に形成される膜式抵抗体と、前記断熱部の表面に形成され、前記膜式抵抗体の一方の端部および他方の端部にそれぞれ電気的に接続される配線とを備えたことを特徴とする熱式流量センサ。
IPC (2件)：
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