特許
J-GLOBAL ID：200903058221280435

水晶振動子の製造方法

発明者：
黒田 貴大

黒田 貴大 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 梅田 明彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-133630
公開番号（公開出願番号）：特開2006-311393
出願日： 2005年04月28日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：
【課題】 水晶振動片と外枠とを一体に形成した水晶板を備えかつ該外枠に上下基板を直接接合して封止する水晶振動子の製造工程において、水晶板に上下基板を接合する前に、その接合面を異物などで汚染することなく、水晶振動片の周波数を粗調整する。【解決手段】 水晶振動子の外枠6に対応する開口43を形成した上側ガラスマスク41と下側ガラスマスク42とを中間水晶ウエハ30の両面に積層する。水晶振動片5の周波数を測定しながら、開口内に露出する振動腕8先端部の重りをレーザビーム45により部分的に除去し、周波数を粗調整する。周波数調整後、中間水晶ウエハの両面に上側及び下側水晶ウエハ31,32を接合し、ダイシングして個々の水晶振動子1に個片化する。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
水晶振動片と外枠とを一体にした中間水晶板を形成する工程と、 前記水晶振動片の周波数を粗調整する工程と、 前記中間水晶板の上面に接合する上側基板を形成する工程と、 前記中間水晶板の下面に接合する下側基板を形成する工程と、 前記中間水晶板の上下面に前記上側及び下側基板を、それらにより画定されるキャビティ内に前記水晶振動片が浮いた状態で保持されるように重ね合わせて気密に接合する工程とを有し、 前記水晶振動片の周波数を粗調整する工程が、前記中間水晶板の上面及び下面に上側及び下側ガラスマスクを、前記水晶振動片が浮いた状態で保持されるように密接させ、前水晶振動片の周波数を測定しつつ、前記上側又は下側ガラスマスクに前記外枠に対応して形成された開口を介して、前記水晶振動片の重りをトリミングすることにより行うことを特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (7件)：
H03H 3/04 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/19 ,  H03H 9/215 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (8件)：
H03H3/04 B ,  H03H3/02 C ,  H03H3/02 D ,  H03H9/19 J ,  H03H9/215 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z
Fターム (13件)：
5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC11 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108FF05 ,  5J108GG03 ,  5J108KK06 ,  5J108NB04 ,  5J108NB05
引用特許：
出願人引用 (4件)
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