特許

J-GLOBAL ID：200903058227638480

インクジェットプリンタヘッドの製造方法

発明者： 下里 正志 ,  鈴木 伊左雄
出願人/特許権者： 株式会社テック
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-093447
公開番号（公開出願番号）：特開平8-290910
出願日： 1995年04月19日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】 圧力室内の電極を絶縁膜で被覆するようにしたインクジェットプリンタヘッドにおいて、信頼性の高い絶縁膜の形成を、高価な装置を用いることなく簡単に行えるようにする。【構成】 インクジェットプリンタヘッドの圧力室を形成する溝20の内面に形成した電極22を被覆する絶縁膜24をLPD法により形成する。

請求項（抜粋）：

底板の上に板厚方向に分極された少なくとも一枚以上の圧電部材を積層して基板を形成する基板形成工程と、この基板に互いに平行な複数の溝とこれらの溝を隔てる少なくとも一部が前記圧電部材からなる支柱とを等間隔にこの基板の表面側から形成する溝形成工程と、前記支柱を形成する前記圧電部材の表面に電極を形成する電極形成工程と、前記電極の少なくともインクと接する部分に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、天板と複数のインク吐出口を有するノズル板とを前記基板に取り付けて前記溝を閉塞することにより圧力室を形成する圧力室形成工程とを含む工程により形成するインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記絶縁膜をLPD法により形成することを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。

IPC (5件)：

C01B 33/12 ,  B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  C23C 18/00

FI (4件)：

C01B 33/12 C ,  C23C 18/00 ,  B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A