特許
J-GLOBAL ID:200903058234515970
窒化アルミニウム質焼結体及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-072899
公開番号(公開出願番号):特開平9-263452
出願日: 1996年03月27日
公開日(公表日): 1997年10月07日
要約:
【要約】【課題】製造コストを低く抑えて高熱伝導率を維持したまま、酸及びアルカリに対する耐薬品性に優れた窒化アルミニウム質焼結体及びその製造方法を得る。【解決手段】AlNに主たる焼結助剤としてREとRの両方を酸化物換算で合計0.5〜20.0重量%と、更にSiO2 とMgOを合計で0.1〜3.0重量%、及びAl2 O3 をRE2 O3 に対するモル比(Al2 O3 /RE2 O3 )で1.7〜20.0となるように調製した混合粉末を成形して1700°C以下の温度で焼成し、窒化アルミニウム質焼結体の粒界の主たる結晶相としてYAG型結晶を晶出させる。
請求項(抜粋):
窒化アルミニウム(AlN)を主成分とし、少なくとも希土類元素(RE)とアルカリ土類金属(R)を酸化物換算で合計0.5〜20.0重量%と、シリカ(SiO2 )とマグネシア(MgO)を合計0.1〜3.0重量%とを含有し、かつ主たる粒界相がYAG型結晶から成ることを特徴とする窒化アルミニウム質焼結体。
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