特許
J-GLOBAL ID：200903058239822782
イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-315120
公開番号（公開出願番号）：特開平6-162980
出願日： 1992年11月25日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】 イオンビーム中から不要な軽イオンを分離できるイオン源を提供する。【構成】 プラズマ室の開口部に円孔、角孔、スリット等の小孔を多数有する引出電極を設け、気体化合物をイオンとして引出すイオン源において、引出電極1の各小孔2間に、小孔2を通過する軽イオン種ビームを偏向するための磁石5を設けた。
請求項（抜粋）：
プラズマ室の開口部に円孔、角孔、スリット等の小孔を多数有する引出電極を設け、気体化合物をイオンとして引出すイオン源において、引出電極の各小孔間に、小孔を通過する軽イオン種ビームを偏向するための磁石を設けたことを特徴とするイオン源。
IPC (5件)：
H01J 37/08
, G21K 5/04
, H01J 27/16
, H01L 21/265
, H05H 1/00
