薄膜蒸着エバポレーター

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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：山本秀策 , 安村高明 , 森下夏樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-533178
公開番号（公開出願番号）：特表2007-500794
出願日： 2004年05月17日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：

排気可能な内部堆積物のチャンバとの、使用のための材料供給源エバポレータであって、このチャンバ内で、蒸発された材料が、基材上に堆積する。このエバポレータは、付随ヒータを備えたコンテナを備え、このヒータは、コンテナ中に供給される蒸発可能な材料を加熱して、その蒸気を提供可能である。複数の排出口を有するマニホルドもまた、付随ヒータを有し、このヒータは、マニホルド中に提供された材料の蒸気を排出口を通して十分に蒸気の状態を維持するように、加熱可能であり、これらの排出開口部は、蒸気材料の較正した空間分布を提供するように選択されたパターンであり、このパターンは、固定位置の隣接する基材に対して層の形態での材料蒸気の堆積を生じる。従って、この層は、比較的均一な厚さを有する。

請求項（抜粋）：

蒸発される材料が基材上に堆積される、排気可能な内部堆積チャンバとの使用のための、材料供給源エバポレータであって、該エバポレータは、以下: コンテナであって、排出ポートを備え、そして該コンテナ中に供給される蒸発可能な材料を加熱して該材料の蒸気を該排出ポートに供給し得る付随ヒータを備える、コンテナ; マニホルドであって、投入ポートおよび複数の排出口を備え、付随ヒータを備え、該付随ヒータは、該マニホルドの該投入ポートを通って該マニホルド内に供給される該材料の蒸気を加熱して該排出口を通って出るために、十分に蒸気の状態を維持し得、該排出口は、該マニホルド中で、固定位置で隣接する該基材上に該材料の蒸気の層状の堆積物を生じる、該材料の蒸気の空間分布を提供するように選択されたパターンで存在し、その結果、該層は、該基材にわたって達成された該層の平均厚さの3%以内の十分に均一な厚さを有する、マニホルド;ならびに該コンテナの排出ポートと該マニホルドの投入ポートとの間に延びる輸送配管を備える、エバポレータ。

IPC (1件)：

C23C 14/24

FI (2件)：

C23C14/24 A , C23C14/24 C

Fターム (8件)：

4K029BA62 , 4K029CA01 , 4K029DB06 , 4K029DB12 , 4K029DB13 , 4K029DB14 , 4K029DB18 , 4K029DB23

引用特許：

審査官引用 (4件)

蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-217261 出願人：株式会社デンソー
有機EL素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-382421 出願人：株式会社デンソー
特開昭63-235466

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