特許
J-GLOBAL ID：200903058261146251
枚葉式ランプ加熱装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
高田 守
, 高橋 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-418511
公開番号（公開出願番号）：特開2005-183485
出願日： 2003年12月16日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：
【課題】 その目的は、低温領域から高温領域までの広範囲の温度領域で正確にウェーハの温度を制御することができる枚葉式ランプ加熱装置を得る。【解決手段】 内部にウェーハ11を取り込むチャンバー12と、ウェーハ11を加熱するランプ13と、ウェーハ11の温度を測定する測定温度領域が異なる複数の温度センサー14,15と、複数の温度センサー14,15を用いて低温領域から高温領域まで連続して測定したウェーハ11の温度をランプ13のパワーにフィードバックさせて、ウェーハ11の温度をクローズドループ制御する制御部16,17を有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
内部にウェーハを取り込むチャンバーと、
前記ウェーハを加熱するランプと、
前記ウェーハの温度を測定する測定温度領域が異なる複数の温度センサーと、
前記複数の温度センサーを用いて低温領域から高温領域まで連続して測定した前記ウェーハの温度を前記ランプのパワーにフィードバックさせてクローズドループ制御する制御部を有することを特徴とする枚葉式ランプ加熱装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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