ピエゾ抵抗カンチレバーを備えた走査型プローブによる信号検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-132327
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321293
出願日： 1999年05月13日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】抵抗測定時のプローブの発熱などの抑制と、プローブの温度変化によるピエゾ抵抗値のドリフトなどの低減とが可能で、マネチ化の容易なピエゾ抵抗カンチレバーを備えた走査型プローブによる信号検出装置の提供。【解決手段】信号検出手段は、ピエゾ抵抗カンチレバーのピエゾ抵抗と並列に接続された電荷蓄積部と、電荷蓄積部に電荷を蓄積用の電荷蓄積用電源と、電荷蓄積部の出力を電荷蓄積用電源と該ピエゾ抵抗につなぎかえるためのスイッチと、スイッチを制御するためのスイッチ制御部と、電荷蓄積部の蓄積電荷量を測定するための電荷量測定部とを有し、電荷蓄積部に蓄積された電荷をピエゾ抵抗を介して一定時間放電した後、電荷蓄積部の残りの電荷量を電荷量測定部によって検出する。

請求項（抜粋）：

ピエゾ抵抗を実装したカンチレバーによって形成されたプローブを備え、該カンチレバーを接近制御部によって媒体に接近させて、該媒体に対して相対走査し、該ピエゾ抵抗の変化を信号検出手段によって測定して媒体の表面特性等を測定するピエゾ抵抗カンチレバーを備えた走査型プローブによる信号検出装置であって、前記信号検出手段は、前記ピエゾ抵抗カンチレバーのピエゾ抵抗と並列に接続された電荷蓄積部と、該電荷蓄積部に電荷を蓄積するための電荷蓄積用電源と、該電荷蓄積部の出力を該電荷蓄積用電源と該ピエゾ抵抗につなぎかえるためのスイッチと、該スイッチを制御するためのスイッチ制御部と、該電荷蓄積部の蓄積電荷量を測定するための電荷量測定部とを有し、該電荷蓄積部に蓄積された電荷をピエゾ抵抗を介して一定時間放電した後、該電荷蓄積部の残りの電荷量を該電荷量測定部によって検出する構成を備えていることを特徴とするピエゾ抵抗カンチレバーを備えた走査型プローブによる信号検出装置。

IPC (4件)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , G11B 9/00 , G12B 1/00 601

FI (5件)：

G01N 37/00 F , G01N 37/00 A , G01B 21/30 Z , G11B 9/00 , G12B 1/00 601 Z

Fターム (13件)：

2F069AA57 , 2F069AA60 , 2F069BB40 , 2F069DD27 , 2F069DD30 , 2F069EE02 , 2F069EE22 , 2F069FF01 , 2F069GG06 , 2F069GG62 , 2F069HH04 , 2F069HH30 , 2F069LL03

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