特許
J-GLOBAL ID：200903058264106935
表面性状測定機
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-358885
公開番号（公開出願番号）：特開平11-190621
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：
【要約】【課題】 測定のための段取りや測定後の取り外し時等において、測定表面や、検出器から突出しているノーズや、触針及びスキッドを保護する。【解決手段】 検出器200を限度一杯に後退させた退避時に、コネクタハウジング150の膨らみ150Aと係合する係合部140Aを有する検出器リフト板140を、駆動部100のフレーム102に固定して、退避時に検出器200の先端を持ち上げ、スキッド204と触針202を測定表面から引き離す。
請求項（抜粋）：
表面性状測定用の触針とスキッドが先端に備えられた検出器と、該検出器を測定表面に沿って進退させるための駆動部を含む表面性状測定機において、前記検出器を限度一杯に後退させた退避時に、少なくとも前記検出器の先端を持ち上げて、スキッドと触針を測定表面から引き離す検出器リフト手段を設けたことを特徴とする表面粗さ測定機。
IPC (2件)：
G01B 21/30 102
, G01B 21/20
G01B 21/30 102
, G01B 21/20 C
出願人引用 (2件)
審査官引用 (2件)
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特開昭63-175718
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特開昭63-175718
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