ニオブ酸カリウム薄膜の製造方法、並びに表面弾性波素子、周波数フィルタ、周波数発振器、電子回路、及び電子機器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上柳雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-089821
公開番号（公開出願番号）：特開2003-289230
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：

【要約】【課題】表面弾性波素子の製造工程において、該表面弾性波素子を構成する導電性薄膜を電界印加用の電極として使用し、表面弾性波素子の圧電体層としてなるニオブ酸カリウム薄膜に電界を印加させて分極処理を施すニオブ酸カリウム薄膜の製造方法、並びに表面弾性波素子、周波数フィルタ、周波数発振器、電子回路、及び電子機器を提供する。【解決手段】ニオブ酸カリウム薄膜圧電体層3の表面に、表面弾性波素子のIDT電極となるAl上部電極層4を生成させ、さらに、ニオブ酸カリウム薄膜圧電体層3の裏面に、ルテニウム酸ストロンチウム下部電極層2を生成させ、Al上部電極層4とルテニウム酸ストロンチウム下部電極層2とを電界印加用電極として使用し、ニオブ酸カリウム薄膜に電界を印加させる。

請求項（抜粋）：

ニオブ酸カリウム薄膜に電界を印加して分極処理を行うニオブ酸カリウム薄膜の製造方法であって、前記ニオブ酸カリウム薄膜を表面弾性波素子の圧電体層として用いるときに、前記表面弾性波素子のインターディジタル型電極となる導電性物質の第1の薄膜を前記ニオブ酸カリウム薄膜の表面に生成し、前記第1の薄膜を電界印加用電極として前記ニオブ酸カリウム薄膜に電界を印加することを特徴とするニオブ酸カリウム薄膜の製造方法。

IPC (4件)：

H03H 3/08 , C30B 29/30 , H03H 9/145 , H03H 9/25

FI (4件)：

H03H 3/08 , C30B 29/30 A , H03H 9/145 C , H03H 9/25 C

Fターム (14件)：

4G077AA03 , 4G077BC31 , 4G077DA03 , 4G077EA02 , 4G077ED06 , 4G077EF02 , 4G077FH02 , 4G077HA11 , 4G077SA04 , 5J097AA06 , 5J097AA29 , 5J097AA30 , 5J097FF02 , 5J097HA03

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