特許
J-GLOBAL ID：200903058265854609
精密切削装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-169792
公開番号（公開出願番号）：特開平7-075955
出願日： 1993年06月17日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】【目的】 赤外線を利用してウェーハの裏面からアライメント出来るようにした、精密切削装置を得る。【構成】 被加工物の切削領域と、ブレードとの位置合わせを遂行するアライメントユニットが装着された精密切削装置において、アライメントユニットに赤外線を認識出来る赤外線カメラを装着する。アライメントユニットは、照明装置と、顕微鏡と、赤外線カメラとを含み、照明装置側或は顕微鏡側何れか一方に又は双方に波長0.8μm〜10μmの赤外線のみを通過する狭帯域フィルターが装着される。
請求項（抜粋）：
被加工物の被切削領域と、ブレードとの位置合わせを遂行するアライメントユニットが装着された精密切削装置において、前記アライメントユニットには赤外線を認識出来る赤外線カメラが装着されている精密切削装置。
IPC (5件)：
B24B 27/06
, G01B 11/00
, G01J 1/02
, H01L 21/301
, H01L 21/68
